基于MEMS 技术的微波滤波器研究进展
摘要:基于MEMS 技术的滤波器是现行RF 结构中一个关键的MEMS 器件。与传统的采用金属矩形或圆柱波导以及半导体元件制作的滤波器相比, MEMS 滤波器具有低损耗、高隔离度、线性好、体积小、易于集成等优点。对利用MEMS 技术制作的滤波器做了分类总结, 综述了近几年MEMS 滤波器的研究进展, 包括硅体微加工滤波器、LIGA 传输线型滤波器和基于MEMS 开关/电容实现的可调滤波器。指出可调滤波器的开发适应微波、毫米波波段的多频段、宽带无线通信系统的迫切需要, 具有重要的现实意义。
关键词: MEMS 技术; 硅体微加工; LIGA 技术; 微波滤波器; 可调滤波器
滤波器作为一种选频元件, 用来抑制噪声、选择或限定RF/微波信号的频段范围, 在许多RF/微波应用中起着重要的作用。传统的滤波器体积大、制造成本高并且不容易与单片集成电路集成, 在毫米波频段内损耗大, 而由微电子技术与机械、光学等领域交叉融合而产生的MEMS 技术, 具有小型化、多样化以及可集成化的特点。MEMS 技术与RF技术的结合, 即RF MEMS 技术, 为新一代独特的、高性能滤波器的实现提供了新的机遇。目前人们将MEMS 技术运用到RF/微波滤波器的设计制造中，得到了高性能、小尺寸、重量轻, 并且成本低的MEMS 滤波器。MEMS RF/微波滤波器可以用集总元件设计也可以用分布元件设计, 它们可以利用各种结构实现, 例如微带线、波导腔、共面波导等。当然,它们也可以由多种制造工艺实现。
