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专利名称：一种高精度激光测量系统及方法专利类型：发明专利
发明人：常莹,马车,赵米峰,张永攀,杨建申请号：CN201910309595.1申请日：20190417公开号：CN110095074A公开日：20190806
摘要：本发明属于精密测量技术领域，公开了一种高精度激光测量系统及方法，可应用于包括液体火箭发动机微小零部件在内的其他工件的厚度测量。包括底座、紧固螺钉、下限位板、Z向滑块、立柱、上限位盖、承重块、平移台、定位块、吸附平台以及激光位移传感器。底座上安装有立柱和承重块；立柱上分别是上限位盖、下限位板和Z向滑块；Z向滑块和下限位板分别通过紧固螺钉进行夹紧固定，而上限位盖通过自身的螺纹与立柱旋紧；激光位移传感器通过Z向滑块支撑；平移台、吸附平台和定位块通过螺钉与承重块相连接。本专利装置具备高精度(测量不确定度U≤5μm)测量工件厚度的能力。
申请人：西安航天计量测试研究所
地址：710100 陕西省西安市15号信箱7分箱
国籍：CN
代理机构：西安智邦专利商标代理有限公司
代理人：汪海艳
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