专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种坩埚驱动机构专利类型：实用新型专利发明人：陈世斌
申请号：CN201821439868.1申请日：20180903公开号：CN2049447U公开日：20190607
摘要：本实用新型公开了一种坩埚驱动机构，包括底座、机架以及坩埚轴，所述机架设置在所述底座上，所述机架上设置有导轨，所述坩埚轴通过固定座固定在所述导轨上，所述固定座与所述导轨滑动连接；所述机架上设置有用于控制所述固定座升降的升降机构，所述固定座底部设置有底盘，所述固定座与所述坩埚轴之间设置有轴承座，所述轴承座内设置有空腔；所述固定座上还设置有用于控制所述坩埚轴旋转的旋转机构；所述坩埚轴包括设置在所述轴承座内的支撑部和设置在所述支撑部顶端的连接部，所述连接部与所述支撑部同心设置并且通过第一法兰盘连接。本实用新型提供的坩埚驱动机构具有方便对坩埚轴进行拆卸的效果。
申请人：北京北方华创真空技术有限公司
地址：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号1幢401室
国籍：CN
代理机构：北京维正专利代理有限公司
代理人：罗焕清
更多信息请下载全文后查看
