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专利名称：一种日盲紫外焦平面成像探测器及其制作方法专利类型：发明专利
发明人：宋航,陈一仁,张志伟,蒋红,缪国庆,李志明申请号：CN202010995497.0申请日：20200921公开号：CN1120836A公开日：20201215
摘要：本申请公开了一种日盲紫外焦平面成像探测器及其制作方法，探测器包括探测器阵列、读出电路、钝化层、具有第一通孔的金属层、具有第二通孔的绝缘层、填充物层、连接柱；金属层位于钝化层的下表面，第一通孔对应探测器阵列中的P型电极，且第一通孔的尺寸小于P型电极的尺寸，以使金属层对应探测器阵列中的台面阵列间隙和台面阵列表面未被P型电极覆盖的区域；绝缘层位于金属层的下表面和第一通孔中，第二通孔对应第一通孔，且第二通孔的尺寸小于第一通孔的尺寸。日盲紫外焦平面成像探测器中的绝缘层避免金属层与读出电路之间发生短路，金属层避免可见光通过阵列台面间隙入射到读出电路上，进而提高日盲紫外焦平面成像探测器的日盲/可见抑制比。
申请人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
地址：130033 吉林春春经济技术开发区东南湖大路3888号
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：王晓坤
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