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直流等离子体与电感耦合等离子体光源的区别

来源:华拓科技网


方式不同,使用寿命不同。
1、方式不同,直流等离子体是内电极放电,电感耦合等离子体光源是外电极放电。
2、使用寿命不同,直流等离子体因存在电极材料损耗问题,寿命短,电感耦合等离子体光源是无电极材料损耗,寿命长。

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